液晶ガラス基板搬送ロボット
SR9188L
取り扱い会社名：ニデックインスツルメンツ株式会社
製品データ
基本情報
R軸 | 動作範囲 -520～+770mm 、 最大速度 1743mm/sec |
|---|---|
Z軸 | 動作範囲 425/1000/1400mm 、 最大速度 300mm/sec |
θ軸 | 動作範囲 -95～+185° 、 最大速度 2.09rad/sec |
走行軸 | 動作範囲 1000mm/1900mm/2100mm/2800mm 、 最大速度 550mm/sec |
繰り返し精度 | ±0.2mm |
最大可搬重量 | 8㎏/１Arm（HAND含） |
R軸 | 動作範囲 -520～+770mm 、 最大速度 1743mm/sec | Z軸 | 動作範囲 425/1000/1400mm 、 最大速度 300mm/sec |
|---|---|---|---|
θ軸 | 動作範囲 -95～+185° 、 最大速度 2.09rad/sec | 走行軸 | 動作範囲 1000mm/1900mm/2100mm/2800mm 、 最大速度 550mm/sec |
繰り返し精度 | ±0.2mm | 最大可搬重量 | 8㎏/１Arm（HAND含） |