液晶ガラス基板搬送ロボット
SR8651
取り扱い会社名：ニデックインスツルメンツ株式会社
製品データ
基本情報
真空度(Pa) | 1.33×10-2 |
|---|---|
自由度 | 5-AXIS(all AC-servo controlled) |
動作範囲「RR/RL軸」(㎜) | 2400 |
動作範囲「Z軸」(㎜) | 250/450 |
動作範囲「θ軸」(deg) | +140～-185 |
最高速度「RR/RL軸」(㎜/sec) | 3370 |
最高速度「Z軸」(㎜/s) | 300 |
最高速度「θ軸」(rads/s) | 2.09 |
最高速度「繰り返し精度」(㎜) | +/-0.2 |
最高速度「騒音」(dB) | 80 or less |
最高速度「ガラスの大きさ」(㎜) | ～1100×1300 t＝3.1～5.2/～1300×1500 t＝0.5～1.1/～1500×925 t＝0.5～1.1 |
取扱い会社 | ニデックインスツルメンツ株式会社 |
真空度(Pa) | 1.33×10-2 | 自由度 | 5-AXIS(all AC-servo controlled) |
|---|---|---|---|
動作範囲「RR/RL軸」(㎜) | 2400 | 動作範囲「Z軸」(㎜) | 250/450 |
動作範囲「θ軸」(deg) | +140～-185 | 最高速度「RR/RL軸」(㎜/sec) | 3370 |
最高速度「Z軸」(㎜/s) | 300 | 最高速度「θ軸」(rads/s) | 2.09 |
最高速度「繰り返し精度」(㎜) | +/-0.2 | 最高速度「騒音」(dB) | 80 or less |
最高速度「ガラスの大きさ」(㎜) | ～1100×1300 t＝3.1～5.2/～1300×1500 t＝0.5～1.1/～1500×925 t＝0.5～1.1 | 取扱い会社 | ニデックインスツルメンツ株式会社 |