液晶ガラス基板搬送ロボット
SR8652
取り扱い会社名：ニデックインスツルメンツ株式会社
製品データ
基本情報
真空度(Pa) | 1.33×10-2 |
|---|---|
自由度 | 5-AXIS(all AC-servo controlled) |
動作範囲「RR/RL軸」(㎜) | 2720 |
動作範囲「Z軸」(㎜) | 465(Solar)/670(LCD) |
動作範囲「θ軸」(deg) | +140～-185 |
最高速度「RR/RL軸」(㎜/sec) | 2474 |
最高速度「Z軸」(㎜/s) | 400 |
最高速度「θ軸」(rads/s) | 2.09 |
最高速度「繰り返し精度」(㎜) | +/-0.2 |
最高速度「騒音」(dB) | 80 or less |
最高速度「ガラス大きさ」(㎜) | 1100×1300 t=4～5(Solar)/～1500×1850 t=0.5～1.1(LCD) |
取扱い会社 | ニデックインスツルメンツ株式会社 |
真空度(Pa) | 1.33×10-2 | 自由度 | 5-AXIS(all AC-servo controlled) |
|---|---|---|---|
動作範囲「RR/RL軸」(㎜) | 2720 | 動作範囲「Z軸」(㎜) | 465(Solar)/670(LCD) |
動作範囲「θ軸」(deg) | +140～-185 | 最高速度「RR/RL軸」(㎜/sec) | 2474 |
最高速度「Z軸」(㎜/s) | 400 | 最高速度「θ軸」(rads/s) | 2.09 |
最高速度「繰り返し精度」(㎜) | +/-0.2 | 最高速度「騒音」(dB) | 80 or less |
最高速度「ガラス大きさ」(㎜) | 1100×1300 t=4～5(Solar)/～1500×1850 t=0.5～1.1(LCD) | 取扱い会社 | ニデックインスツルメンツ株式会社 |