液晶ガラス基板搬送ロボット
SR8653
取り扱い会社名：ニデックインスツルメンツ株式会社
製品データ
基本情報
真空度(Pa) | 1.33×10-2 |
|---|---|
自由度 | 5-AXIS(all AC-servo controlled) |
動作範囲「RR/RL軸」(㎜) | 3620 |
動作範囲「Z軸」(㎜) | 820 |
動作範囲「θ軸」(㎜) | +140～-185 |
最高速度「RR/RL軸」(deg./sec) | 2700 |
最高速度「Z軸」(㎜/sec) | 500 |
最高速度「θ軸」(rads/sec) | 2.09 |
最高速度「繰り返し精度」(㎜) | +/-0.25 |
最高速度「騒音」(dB) | 85 or less |
最高速度「ガラスの大きさ」(㎜) | ～2200×2500 t=0.5～0.7 |
取扱い会社 | ニデックインスツルメンツ株式会社 |
真空度(Pa) | 1.33×10-2 | 自由度 | 5-AXIS(all AC-servo controlled) |
|---|---|---|---|
動作範囲「RR/RL軸」(㎜) | 3620 | 動作範囲「Z軸」(㎜) | 820 |
動作範囲「θ軸」(㎜) | +140～-185 | 最高速度「RR/RL軸」(deg./sec) | 2700 |
最高速度「Z軸」(㎜/sec) | 500 | 最高速度「θ軸」(rads/sec) | 2.09 |
最高速度「繰り返し精度」(㎜) | +/-0.25 | 最高速度「騒音」(dB) | 85 or less |
最高速度「ガラスの大きさ」(㎜) | ～2200×2500 t=0.5～0.7 | 取扱い会社 | ニデックインスツルメンツ株式会社 |