液晶ガラス基板搬送ロボット
SR8665
取り扱い会社名：ニデックインスツルメンツ株式会社
製品データ
基本情報
真空度(Pa) | 1.3×10-5 |
|---|---|
自由度 | 4-AXIS(all AC-servo controlled) |
動作範囲「S軸」(deg) | +/-290 +/-150 |
動作範囲「Z軸」(㎜) | 250～820 |
動作範囲「θ1軸」(deg) | +/-290 |
最高速度「S軸」(deg./s) | 100/115 |
最高速度「Z軸」(㎜/s) | 160～350 |
最高速度「θ1軸」(deg./s) | 100 |
最高速度「繰り返し精度」(㎜) | +/-0.5 |
最高速度「騒音」(dB) | 80 or less |
最高速度「本体重量」(㎏) | 100 |
最高速度「ガラスの大きさ」(㎜) | ～1500×925 t＝0.4～0.7 1700×1100 |
真空度(Pa) | 1.3×10-5 | 自由度 | 4-AXIS(all AC-servo controlled) |
|---|---|---|---|
動作範囲「S軸」(deg) | +/-290 +/-150 | 動作範囲「Z軸」(㎜) | 250～820 |
動作範囲「θ1軸」(deg) | +/-290 | 最高速度「S軸」(deg./s) | 100/115 |
最高速度「Z軸」(㎜/s) | 160～350 | 最高速度「θ1軸」(deg./s) | 100 |
最高速度「繰り返し精度」(㎜) | +/-0.5 | 最高速度「騒音」(dB) | 80 or less |
最高速度「本体重量」(㎏) | 100 | 最高速度「ガラスの大きさ」(㎜) | ～1500×925 t＝0.4～0.7 1700×1100 |