液晶ガラス基板搬送ロボット
SR8670
取り扱い会社名：ニデックインスツルメンツ株式会社
製品データ
基本情報
真空度(Pa) | 5.0×10-3 |
|---|---|
自由度 | 4-AXIS(all AC-servo controlled) |
動作範囲「RR/RL軸」(㎜) | -2400～+2530 |
動作範囲「Z軸」(㎜) | 670 |
動作範囲「θ軸」(㎜) | 67～-185 |
最高速度「RR/RL軸」(deg./S) | 45 |
最高速度「Z軸」(㎜/s) | 400 |
最高速度「θ軸」(deg./s) | 72 |
最高速度「繰り返し精度」(㎜) | +/-0.5 |
最高速度「騒音」(dB) | 80 or less |
最高速度「ガラスの大きさ」(㎜) | ～3000×3400 t＝0.4～0.7 |
取扱い会社 | ニデックインスツルメンツ株式会社 |
真空度(Pa) | 5.0×10-3 | 自由度 | 4-AXIS(all AC-servo controlled) |
|---|---|---|---|
動作範囲「RR/RL軸」(㎜) | -2400～+2530 | 動作範囲「Z軸」(㎜) | 670 |
動作範囲「θ軸」(㎜) | 67～-185 | 最高速度「RR/RL軸」(deg./S) | 45 |
最高速度「Z軸」(㎜/s) | 400 | 最高速度「θ軸」(deg./s) | 72 |
最高速度「繰り返し精度」(㎜) | +/-0.5 | 最高速度「騒音」(dB) | 80 or less |
最高速度「ガラスの大きさ」(㎜) | ～3000×3400 t＝0.4～0.7 | 取扱い会社 | ニデックインスツルメンツ株式会社 |