液晶ガラス基板搬送ロボット
SR8673 Series
取り扱い会社名：ニデックインスツルメンツ株式会社
製品データ
基本情報
真空度 | 1.3×10-3 Pa or less |
|---|---|
動作範囲 R軸 | 4725mm |
動作範囲 Z軸 | ～1000mm |
動作範囲 θ軸 | -185～+140° |
最大速度 R軸 *1 | 3000mm/sec |
最大速度 Z軸 *1 | 400mm/sec |
最大速度 θ軸 *1 | 1.57rad/sec |
繰り返し精度 | ±0.25mm |
真空度 | 1.3×10-3 Pa or less | 動作範囲 R軸 | 4725mm |
|---|---|---|---|
動作範囲 Z軸 | ～1000mm | 動作範囲 θ軸 | -185～+140° |
最大速度 R軸 *1 | 3000mm/sec | 最大速度 Z軸 *1 | 400mm/sec |
最大速度 θ軸 *1 | 1.57rad/sec | 繰り返し精度 | ±0.25mm |