液晶ガラス基板搬送ロボット
SR9142/SR9152
取り扱い会社名：ニデックインスツルメンツ株式会社
製品データ
基本情報
Double Arms | SR9142 |
|---|---|
Single Arms | SR9152 |
動作範囲「RR/RL軸」(㎜) | -1190～+1190 |
動作範囲「Z軸」(㎜) | 570/810/910/1000 |
動作範囲「θ軸」(deg) | -140～+185 |
動作範囲「走行軸」(㎜) | 0＆3000～11100(300 pitch) |
最高速度「RR/RL軸」(rad/s) | 2.7 |
最高速度「Z軸」(㎜/s) | 800 |
最高速度「θ軸」(rad/s) | 2.75 |
最高速度「走行軸」(㎜/s) | 2300 |
最高速度「繰り返し精度」(㎜) | ±0.2 |
最高速度「本体重量」(㎏) | SR9142:240 SR9152:195 |
Double Arms | SR9142 | Single Arms | SR9152 |
|---|---|---|---|
動作範囲「RR/RL軸」(㎜) | -1190～+1190 | 動作範囲「Z軸」(㎜) | 570/810/910/1000 |
動作範囲「θ軸」(deg) | -140～+185 | 動作範囲「走行軸」(㎜) | 0＆3000～11100(300 pitch) |
最高速度「RR/RL軸」(rad/s) | 2.7 | 最高速度「Z軸」(㎜/s) | 800 |
最高速度「θ軸」(rad/s) | 2.75 | 最高速度「走行軸」(㎜/s) | 2300 |
最高速度「繰り返し精度」(㎜) | ±0.2 | 最高速度「本体重量」(㎏) | SR9142:240 SR9152:195 |