液晶ガラス基板搬送ロボット
SR9143 Series
取り扱い会社名：ニデックインスツルメンツ株式会社
製品データ
基本情報
動作範囲 R軸 | -815～+930mm |
|---|---|
動作範囲 Z軸 | ～1000mm |
動作範囲 θ軸 | -140～+185° |
動作範囲 走行軸 | ～11700mm |
最大速度 R軸 *1 | 2.7rad/sec |
最大速度 Z軸 *1 | 800mm/sec |
最大速度 θ軸 *1 | 2.75rad/sec |
最大速度 走行軸 *1 | 2300mm/sec |
繰り返し精度 | ±0.2mm |
最大可搬重量 | 15kg/1Arm(HAND含む) |
動作範囲 R軸 | -815～+930mm | 動作範囲 Z軸 | ～1000mm |
|---|---|---|---|
動作範囲 θ軸 | -140～+185° | 動作範囲 走行軸 | ～11700mm |
最大速度 R軸 *1 | 2.7rad/sec | 最大速度 Z軸 *1 | 800mm/sec |
最大速度 θ軸 *1 | 2.75rad/sec | 最大速度 走行軸 *1 | 2300mm/sec |
繰り返し精度 | ±0.2mm | 最大可搬重量 | 15kg/1Arm(HAND含む) |