液晶ガラス基板搬送ロボット
SR9182E/SR9172E/SR9192E
取り扱い会社名：ニデックインスツルメンツ株式会社
製品データ
基本情報
動作範囲「RR/RL軸」(㎜) | -1190～+1190 |
|---|---|
動作範囲「Ｚ軸」(㎜) | 1300/1600/1900/2200/2400 |
動作範囲「θ軸」(deg) | -140～+185 |
動作範囲「走行軸」(㎜) | 0＆300～10200(300pitch) |
最高速度「RR/RL軸」(rad/s) | 3.32 |
最高速度「Z軸」(㎜/s) | 900 |
最高速度「θ軸」(㎜/s) | 2.4 |
最高速度「走行軸」(㎜/s) | 3000 |
最高速度「繰り返し精度」(㎜) | ±0.2 |
最高速度「本体重量」(㎏) | 300/250 |
最高速度「ガラスサイズ」(㎜) | ～W1200×L1300 |
取扱い会社 | ニデックインスツルメンツ株式会社 |
動作範囲「RR/RL軸」(㎜) | -1190～+1190 | 動作範囲「Ｚ軸」(㎜) | 1300/1600/1900/2200/2400 |
|---|---|---|---|
動作範囲「θ軸」(deg) | -140～+185 | 動作範囲「走行軸」(㎜) | 0＆300～10200(300pitch) |
最高速度「RR/RL軸」(rad/s) | 3.32 | 最高速度「Z軸」(㎜/s) | 900 |
最高速度「θ軸」(㎜/s) | 2.4 | 最高速度「走行軸」(㎜/s) | 3000 |
最高速度「繰り返し精度」(㎜) | ±0.2 | 最高速度「本体重量」(㎏) | 300/250 |
最高速度「ガラスサイズ」(㎜) | ～W1200×L1300 | 取扱い会社 | ニデックインスツルメンツ株式会社 |