液晶ガラス基板搬送ロボット
SR9183H/SR9173H/SR9193H
取り扱い会社名：ニデックインスツルメンツ株式会社
製品データ
基本情報
Double Arms | SR9183H |
|---|---|
Single Arms | SR9173H、SR9193H |
動作範囲「RR/RL軸」(㎜) | -1190～+1190 |
動作範囲「Z軸」(㎜) | 1300/1600/1900/2200/2400 |
動作範囲「θ軸」(deg) | -140～+185 |
動作範囲「走行軸」(㎜) | 0＆300～10200(300 pitch) |
最高速度「RR/RL軸」(rad/s) | 3.32 |
最高速度「Z軸」(㎜/s) | 900 |
最高速度「θ軸」(rad/s) | 2.4 |
最高速度「走行軸」(㎜/s) | 3000 |
最高速度「繰り返し精度」(㎜) | ±0.2 |
最高速度「本体重量」(㎏) | SR9183H:300、SR9173H/SR9193H:250 |
Double Arms | SR9183H | Single Arms | SR9173H、SR9193H |
|---|---|---|---|
動作範囲「RR/RL軸」(㎜) | -1190～+1190 | 動作範囲「Z軸」(㎜) | 1300/1600/1900/2200/2400 |
動作範囲「θ軸」(deg) | -140～+185 | 動作範囲「走行軸」(㎜) | 0＆300～10200(300 pitch) |
最高速度「RR/RL軸」(rad/s) | 3.32 | 最高速度「Z軸」(㎜/s) | 900 |
最高速度「θ軸」(rad/s) | 2.4 | 最高速度「走行軸」(㎜/s) | 3000 |
最高速度「繰り返し精度」(㎜) | ±0.2 | 最高速度「本体重量」(㎏) | SR9183H:300、SR9173H/SR9193H:250 |