液晶ガラス基板搬送ロボット
SR99H/(S)xx/SR99G(R)xx/SR99J(T)xx
取り扱い会社名：ニデックインスツルメンツ株式会社
製品データ
基本情報
Double Arms | SR99H(S)×× |
|---|---|
Upper Single Arms | SR99G(R)×× |
Lower Single Arms | SR99J(T)×× |
アーム長さ | 1200㎜ |
動作範囲「RR/RL軸」(㎜) | -2300～+2300 |
動作範囲「Z軸」(㎜) | 1300/1700/2600/3000/2800/4700 |
動作範囲「θ軸」(㎜) | -140～+185 |
動作範囲「走行軸」(㎜) | 0/700～15700(1000 pitch) |
最高速度「RR/RL軸」(rad/s) | 1.92～2.18 |
最高速度「Z軸」(㎜/s) | 750～1250 |
最高速度「θ軸」(rad/s) | 1.05～1.57 |
最高速度「走行軸」(㎜/s) | 1500/2000 |
Double Arms | SR99H(S)×× | Upper Single Arms | SR99G(R)×× |
|---|---|---|---|
Lower Single Arms | SR99J(T)×× | アーム長さ | 1200㎜ |
動作範囲「RR/RL軸」(㎜) | -2300～+2300 | 動作範囲「Z軸」(㎜) | 1300/1700/2600/3000/2800/4700 |
動作範囲「θ軸」(㎜) | -140～+185 | 動作範囲「走行軸」(㎜) | 0/700～15700(1000 pitch) |
最高速度「RR/RL軸」(rad/s) | 1.92～2.18 | 最高速度「Z軸」(㎜/s) | 750～1250 |
最高速度「θ軸」(rad/s) | 1.05～1.57 | 最高速度「走行軸」(㎜/s) | 1500/2000 |