液晶ガラス基板搬送ロボット
SR99L/SR99K/SR99M
取り扱い会社名：ニデックインスツルメンツ株式会社
製品データ
基本情報
Double Arms | SR99L |
|---|---|
Upper Single Arms | SR99K |
Lower Single Arms | SR99M |
アームの長さ | 877.5 |
動作範囲「RR/RL軸」(㎜) | -1700～+1680 |
動作範囲「Z軸」(㎜) | 1300/1700/2600/3000/3900/4300/4700 |
動作範囲「θ軸」(°) | -185～+185 |
動作範囲「走行軸」(㎜) | 0/700～15700(1000 pitch) |
最高速度「RR/RL軸」(rad/s) | 2.18 |
最高速度「Z軸」(㎜/s) | 462.5～1500 |
最高速度「θ軸」(rad/s) | 1.26～1.75 |
最高速度「走行軸」(㎜/s) | 2000 |
Double Arms | SR99L | Upper Single Arms | SR99K |
|---|---|---|---|
Lower Single Arms | SR99M | アームの長さ | 877.5 |
動作範囲「RR/RL軸」(㎜) | -1700～+1680 | 動作範囲「Z軸」(㎜) | 1300/1700/2600/3000/3900/4300/4700 |
動作範囲「θ軸」(°) | -185～+185 | 動作範囲「走行軸」(㎜) | 0/700～15700(1000 pitch) |
最高速度「RR/RL軸」(rad/s) | 2.18 | 最高速度「Z軸」(㎜/s) | 462.5～1500 |
最高速度「θ軸」(rad/s) | 1.26～1.75 | 最高速度「走行軸」(㎜/s) | 2000 |