ウエハ―搬送ロボット
SR8230
取り扱い会社名：ニデックインスツルメンツ株式会社
製品データ
基本情報
自由度 | 4-AXIS |
|---|---|
可動範囲「R1/R2軸」(㎜) | ショートアームタイプ：-265～+245/標準アームタイプ：-212～+321/ロングアームタイプ：-319～+447 |
可動範囲「Z軸」(㎜) | 300/400/450/600 |
可動範囲「θ軸」(deg) | 340 |
最高速度「R1/R2軸」(rad/sec) | 5.76 |
最高速度「Z軸」(㎜/sec) | 450 |
最高速度「θ軸」(rad/sec) | 6.97 |
最高速度「最大可搬重量」(㎏) | 2 |
最高速度「繰り返し精度」(㎜) | +/-0.1 |
最高速度「本体重量」(㎏) | 60/70/85 |
最高速度「コントローラ」 | SC5000 |
取扱い会社 | ニデックインスツルメンツ |
自由度 | 4-AXIS | 可動範囲「R1/R2軸」(㎜) | ショートアームタイプ：-265～+245/標準アームタイプ：-212～+321/ロングアームタイプ：-319～+447 |
|---|---|---|---|
可動範囲「Z軸」(㎜) | 300/400/450/600 | 可動範囲「θ軸」(deg) | 340 |
最高速度「R1/R2軸」(rad/sec) | 5.76 | 最高速度「Z軸」(㎜/sec) | 450 |
最高速度「θ軸」(rad/sec) | 6.97 | 最高速度「最大可搬重量」(㎏) | 2 |
最高速度「繰り返し精度」(㎜) | +/-0.1 | 最高速度「本体重量」(㎏) | 60/70/85 |
最高速度「コントローラ」 | SC5000 | 取扱い会社 | ニデックインスツルメンツ |