ウエハ―搬送ロボット
SR8240
取り扱い会社名：ニデックインスツルメンツ株式会社
製品データ
基本情報
自由度 | 5-AXIS |
|---|---|
可動範囲「回転軸」(deg) | -270～+450 |
可動範囲「X軸」(㎜) | -432～+432 |
可動範囲「Z軸」(㎜) | 300 |
可動範囲「θ軸」(deg) | ±180 |
最高速度「回転軸」(rad/sec) | 9.42 |
最高速度「X軸」(㎜/s) | 1680 |
最高速度「Z軸」(㎜/s) | 500 |
最高速度「θ軸」(rad/s) | 8.72 |
最高速度「繰り返し精度」(㎜) | +/-0.1 |
最高速度「本体重量」(㎏) | 60 |
最高速度「コントローラー」 | SC5000 |
自由度 | 5-AXIS | 可動範囲「回転軸」(deg) | -270～+450 |
|---|---|---|---|
可動範囲「X軸」(㎜) | -432～+432 | 可動範囲「Z軸」(㎜) | 300 |
可動範囲「θ軸」(deg) | ±180 | 最高速度「回転軸」(rad/sec) | 9.42 |
最高速度「X軸」(㎜/s) | 1680 | 最高速度「Z軸」(㎜/s) | 500 |
最高速度「θ軸」(rad/s) | 8.72 | 最高速度「繰り返し精度」(㎜) | +/-0.1 |
最高速度「本体重量」(㎏) | 60 | 最高速度「コントローラー」 | SC5000 |