ウエハ―搬送ロボット
SR8241
取り扱い会社名：ニデックインスツルメンツ株式会社
製品データ
基本情報
自由度 | 5-AXIS |
|---|---|
可動範囲「回転軸」(deg) | +/-275 |
可動範囲「X軸」(㎜) | -750～+750 |
可動範囲「Z軸」(㎜) | 470 |
可動範囲「θ軸」(deg) | +/-170 |
最高速度「回転軸」(rag/sec) | 9.42 |
最高速度「X軸」(rag/sec) | 2.44(1952㎜/sec) |
最高速度「Z軸」(㎜/sec) | 720 |
最高速度「θ軸」(rag/sec) | 6.54 |
最高速度「最大可搬重量」(㎏) | 2 |
最高速度「繰り返し精度」(㎜) | +/-0.05 |
最高速度「本体重量」(㎏) | 70 |
自由度 | 5-AXIS | 可動範囲「回転軸」(deg) | +/-275 |
|---|---|---|---|
可動範囲「X軸」(㎜) | -750～+750 | 可動範囲「Z軸」(㎜) | 470 |
可動範囲「θ軸」(deg) | +/-170 | 最高速度「回転軸」(rag/sec) | 9.42 |
最高速度「X軸」(rag/sec) | 2.44(1952㎜/sec) | 最高速度「Z軸」(㎜/sec) | 720 |
最高速度「θ軸」(rag/sec) | 6.54 | 最高速度「最大可搬重量」(㎏) | 2 |
最高速度「繰り返し精度」(㎜) | +/-0.05 | 最高速度「本体重量」(㎏) | 70 |