ウエハ―搬送ロボット
SR8250
取り扱い会社名：ニデックインスツルメンツ株式会社
製品データ
基本情報
アームタイプ | ダブルアーム/ブーメランタイプ |
|---|---|
自由度 | 4-AXIS |
可動範囲「RR/RL軸」(㎜) | -300～+300 |
可動範囲「θ軸」(deg) | 360(Endless) |
可動範囲「Z軸」(㎜) | 300 |
最高速度「RR/RL軸」(deg/sec) | 225(1900㎜/sec) |
最高速度「θ軸」(deg/sec) | 225 |
最高速度「Z軸」(㎜/sec) | 300 |
最高速度「繰り返し精度」(㎜) | +/-0.1 |
最高速度「クリーン度」 | ISO Class 2 |
最高速度「本体重量」(㎏) | 120 |
最高速度「騒音」 | 80 dB or less |
アームタイプ | ダブルアーム/ブーメランタイプ | 自由度 | 4-AXIS |
|---|---|---|---|
可動範囲「RR/RL軸」(㎜) | -300～+300 | 可動範囲「θ軸」(deg) | 360(Endless) |
可動範囲「Z軸」(㎜) | 300 | 最高速度「RR/RL軸」(deg/sec) | 225(1900㎜/sec) |
最高速度「θ軸」(deg/sec) | 225 | 最高速度「Z軸」(㎜/sec) | 300 |
最高速度「繰り返し精度」(㎜) | +/-0.1 | 最高速度「クリーン度」 | ISO Class 2 |
最高速度「本体重量」(㎏) | 120 | 最高速度「騒音」 | 80 dB or less |