ウエハ―搬送ロボット
SR8608
取り扱い会社名：ニデックインスツルメンツ株式会社
製品データ
基本情報
真空度(Pa) | 3×10-6 |
|---|---|
自由度 | 4-AXIS |
動作範囲「RR/RL軸」(㎜) | -340～+360 |
動作範囲「θ軸」(deg) | -95～+185 |
動作範囲「Z軸」(㎜) | 150 |
最高速度「RR/RL軸」(㎜) | 225(2670㎜/sec) |
最高速度「θ軸」(deg) | 225 |
最高速度「Z軸」(㎜/s) | 100 |
最高速度「繰り返し精度」(㎜) | +/-0.1 |
最高速度「騒音」(dB) | 70 or less |
最高速度「本体重量」(㎏) | 180(include hand) |
最高速度「リーク率」 | 1×10-6Pa・m3/sec |
真空度(Pa) | 3×10-6 | 自由度 | 4-AXIS |
|---|---|---|---|
動作範囲「RR/RL軸」(㎜) | -340～+360 | 動作範囲「θ軸」(deg) | -95～+185 |
動作範囲「Z軸」(㎜) | 150 | 最高速度「RR/RL軸」(㎜) | 225(2670㎜/sec) |
最高速度「θ軸」(deg) | 225 | 最高速度「Z軸」(㎜/s) | 100 |
最高速度「繰り返し精度」(㎜) | +/-0.1 | 最高速度「騒音」(dB) | 70 or less |
最高速度「本体重量」(㎏) | 180(include hand) | 最高速度「リーク率」 | 1×10-6Pa・m3/sec |