加工事例 - 微細レーザー加工機 - 微細レーザー加工機ABLASERの加工事例

タンタル酸リチウムウェーハ、タンタル酸リチウム/シリコン 接合ウェーハの微細穴加工

タンタル酸リチウムウェーハ 微細穴加工

  • 穴   径 : 0.027 mm
  • 板   厚 : 0.35 mm
  • アスペクト比: 13

タンタル酸リチウム/シリコン 接合ウェーハ 微細穴加工

  • 穴   径 : 0.020 mm
  • 板   厚 : 0.20 mm
  • アスペクト比: 10

  • 常温ウェーハ接合装置とABLASERの双方の装置を製造・販売する当社だから提案できるプロセス。
  • 従来個別のウェーハにそれぞれ穴明け加工後、接合していたプロセスを一挙に効率化。
  • 異種材料を接合したワークに同時加工が可能です。しかも穴径φ20μm。

微細加工・接合試作サービス

微細レーザー加工機において、有償で試作サービスを承っております。
お気軽にご相談下さい。

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