半導体パッケージ用自動検査装置
GATS®-7755 ICS/SLP用
取り扱い会社名：ニデックアドバンステクノロジー株式会社
高速高精度シャトル型ステップ＆リピート式 OPEN/LEAK自動基板検査装置
多面付け基板（SLP/ICS/MCM/MCP/CSP等）パターンの導通・短絡（絶縁）検査に最適 ファインピッチFC-CSP検査に最適な高速高精度、コアレス対応の次世代型検査装置が登場！
Features 1
ダブルテーブル／シャトル式 総合アライメント精度±2.5μm 部品内蔵（Embedded IC）基板対応 ケーブルレススキャナーで高速検査を実現 多彩なテスター群からお好みの仕様を選択可、コアレス基板に最適