微細レーザー加工機ABLASERの加工事例 タンタル酸リチウムウェーハ、タンタル酸リチウム／シリコン 接合ウェーハの微細穴加工
タンタル酸リチウムウェーハ 微細穴加工
穴 径 ： 0.027 mm
板 厚 ： 0.35 mm
アスペクト比： 13
タンタル酸リチウム／シリコン 接合ウェーハ 微細穴加工
穴 径 ： 0.020 mm
板 厚 ： 0.20 mm
アスペクト比： 10
- 常温ウェーハ接合装置とABLASERの双方の装置を製造・販売する当社だから提案できるプロセス。
- 従来個別のウェーハにそれぞれ穴明け加工後、接合していたプロセスを一挙に効率化。
- 異種材料を接合したワークに同時加工が可能です。しかも穴径φ20μm。
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