微細レーザー加工機ABLASERの加工事例 タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウムの加工事例

タンタル酸リチウム(LiTaO3)

穴   径 :0.02 mm

ピ ッ チ :0.07mm

板   厚 :0.25mm

アスペクト比:12.5 

 

ニオブ酸リチウム(LiNbO3)

穴   径 :0.02 mm

ピ ッ チ :0.07mm

板   厚 :0.35mm

アスペクト比:17.5 

 



 

  • 半導体製品で使用される、タンタル酸リチウム、
    ニオブ酸リチウムにφ0.02mmの穴をあけることがます

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