微細レーザー加工機ABLASERの加工事例 タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウムの加工事例

タンタル酸リチウム(LiTaO3)
穴 径 :0.02 mm
ピ ッ チ :0.07mm
板 厚 :0.25mm
アスペクト比:12.5

ニオブ酸リチウム(LiNbO3)
穴 径 :0.02 mm
ピ ッ チ :0.07mm
板 厚 :0.35mm
アスペクト比:17.5

- 半導体製品で使用される、タンタル酸リチウム、
ニオブ酸リチウムにφ0.02mmの穴をあけることがます

穴 径 :0.02 mm
ピ ッ チ :0.07mm
板 厚 :0.25mm
アスペクト比:12.5

穴 径 :0.02 mm
ピ ッ チ :0.07mm
板 厚 :0.35mm
アスペクト比:17.5
